Silizium — Mikrotechnik für thermische Sensoren

Silizium — Mikrotechnik für thermische Sensoren

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Published in:Elektrotechnik und Informationstechnik Vol. 115; no. 7-8; pp. 391 - 395
Main Authors: Kohl, F., Urban, G., Steurer, J., Olcaytug, F., Jachimowicz, A., Glaninger, A., Keplinger, F., Fasching, R., Biacovsky, D.
Format: Journal Article
Language:German
Published: 01-07-1998
Online Access:Get full text
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Description
ISSN:0932-383X
1613-7620
DOI:10.1007/BF03159609